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E-mail minsungh@snu.ac.kr
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2) ±â±âÈ°¿ë
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- ÆÐÅϸ¶½ºÅ© (¾ø´Â°æ¿ì) º°µµ Á¦ÀÛ ÇÊ¿ä (¹®ÀÇ)

 

3) »ç¾ç
- Sample size & throughput : Up to150 mm x 150 mmsquare
- Loading capacity : Depend on sample size (25 mm x 25 mm (16ea),50 mm x 50 mm (4ea), 150 mm x 150 mm (1ea), ±âŸ ¹®ÀÇ)
- Sample rotation speed : 5 rpm
- Thermal power supply : 1.5kW (5V / 300A)
- Substrate heater : None
- Load-lock chamber : Back-bone type
- Deposition control : Automatic film thickness control
- Ultimate pressure : ≤ 7×10-7Torr
- Vacuum pump : Cryo pump + Rotary pump
- Process control : Manual/Auto process control

 

4) Àåºñȸ»ç ȨÆäÀÌÁö
http://www.ultech.co.kr/


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