1) 원리 및 기능
알루미나크루시블 또는 텅스텐 보트에 열 증착하고자 하는 소스를 넣고 가열하여 수~수백 nm의 박막을 증착함

2) 기기활용
- 유/무기물 박막 증착
- 전극 및 회로를 위한 Metal 증착 (Cu, Au)
- OLED, Organic Photovoltaics (OPV), Photodetectors,Perovskite Solar Cells(PSCs)

3) 사양
- Organic Chamber (OC) and Metal Chamber (MC) are separated
- (OC) 6 Low temp. (~300 ℃) Heater Source
- (OC) 2 Middle temp. (~800 ℃) Heater Source
- (MC)3 W boat for Metal Evaporation
- (MC) 2 Middle temp. (~800 ℃) Heater Source
- Sample tray: 9 samples for 25 mm * 25 mm, 9 samples for 20 mm * 24 mm
- Pressure: 10-7 – 10-8 Torr.
- Mask pattern: Contact Operator
- Connected to N2 filled Glove Box

4) 장비회사 홈페이지
http://www.selcos.co.kr/

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